HORIBA堀場壓力不敏感型數(shù)字式質(zhì)量流量控制器 SEC-Z700S

2025-08-29 17:33

HORIBA堀場壓力不敏感型數(shù)字式質(zhì)量流量控制器 SEC-Z700S 是一款超速響應(yīng)型 MFC（Mass Flow Controller），延續(xù)了 HORIBA STEC 半個(gè)世紀(jì)以來在質(zhì)量流量計(jì)和流體控制技術(shù)上的深厚積累。該系列產(chǎn)品特別適用于對精度、響應(yīng)速度及穩(wěn)定性要求極高的工業(yè)和科研應(yīng)用，廣泛服務(wù)于半導(dǎo)體、新材料、光電子等高端領(lǐng)域。

SEC-Z700S產(chǎn)品詳情

SEC-Z700S 屬于壓力不敏感型數(shù)字式質(zhì)量流量控制器。其在應(yīng)對供氣壓力波動時(shí)仍能保持穩(wěn)定、精確的流量控制能力，尤其適合應(yīng)用于對氣體供應(yīng)波動敏感的先進(jìn)工藝。相比傳統(tǒng) MFC，SEC-Z700S 在精度、響應(yīng)速度和通訊能力方面均有大幅提升。

SEC-Z700S核心特點(diǎn)

  • 壓力非敏感型
    在氣體壓力變化的情況下，依然保持精準(zhǔn)流量控制。

  • 可變控制模式
    搭載可變控制模式，靈活適配多種工藝需求。

  • 多種顯示方式
    提供直觀的數(shù)字化和本地顯示方式，便于監(jiān)測與調(diào)節(jié)。

  • 兼容多氣體與多量程
    一機(jī)支持多種氣體和量程，降低設(shè)備更換與校準(zhǔn)成本。

  • 高精度 & 高速響應(yīng)
    精度高，響應(yīng)時(shí)間快，滿足尖端工藝對穩(wěn)定性和一致性的要求。

  • 超高速 EtherCAT® 通訊方式
    響應(yīng)速度快至 450ms ± 30ms，極大提升工藝效率。

  • 控制范圍廣
    可滿足從低流量到高流量的多種應(yīng)用需求。

  • 應(yīng)用哈氏合金
    采用高耐腐蝕材質(zhì)，適應(yīng)復(fù)雜及腐蝕性氣體環(huán)境。

SEC-Z700S應(yīng)用領(lǐng)域

  • 半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝

  • 高端材料研發(fā)與制備

  • 光電子與新能源產(chǎn)業(yè)

  • 精密科研實(shí)驗(yàn)室氣體控制

  • 高速響應(yīng)與高精度控制工藝

上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司長期供應(yīng) HORIBA堀場壓力不敏感型數(shù)字式質(zhì)量流量控制器 SEC-Z700S 及相關(guān)配套產(chǎn)品，并提供專業(yè)的選型指導(dǎo)、應(yīng)用方案及完善的售后服務(wù)，致力于為客戶打造高效、穩(wěn)定、精準(zhǔn)的流體控制解決方案。