HORIBA數(shù)字式液體質(zhì)量流量計LF/LV介紹

2025-11-16 08:00

日本HORIBA堀場數(shù)字式液體質(zhì)量流量計LF/LV

隨著半導(dǎo)體器件快速一體化的發(fā)展，越來越多的細節(jié)需要考慮其中，同時新的材料也被引入300nm晶圓制程以確保產(chǎn)品性能。在這樣的背景下，更多的液體被應(yīng)用到半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，流量需求不斷增大。作為該領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者，HORIBA STEC提供了一整套的液體源汽化控制系統(tǒng)，利用加熱、直接注入、混合注入等不同方式確保平穩(wěn)有效的將氣體傳送到反應(yīng)室。自動供液系統(tǒng)能不間斷地安全可靠地傳輸液體，從而提高工作效率，同時有效降低了操作員的手動操作以及制程污染風(fēng)險。

HORIBA數(shù)字式液體質(zhì)量流量計

LF-F液體質(zhì)量流量計核心功能

數(shù)字式液體質(zhì)量流量計LF-F是一款具備冷卻測試方式的液體質(zhì)量流量計，可精確檢測低沸點和高粘度液體的流量。該儀器內(nèi)部進行超潔凈處理并符合RoHS環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)，是半導(dǎo)體行業(yè)流量控制的關(guān)鍵設(shè)備之一。

  • 提供超低微小流量檢測，適合精密應(yīng)用。
  • 抗壓性達10MPa，確保設(shè)備在高壓環(huán)境下穩(wěn)定運行。
  • 超潔凈設(shè)計，有效減少污染風(fēng)險。

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LV-F液體質(zhì)量流量計核心功能

數(shù)字式液體質(zhì)量流量計LV-F同樣具備冷卻測試方式，可精確控制低沸點和高粘度液體的流量。該設(shè)備內(nèi)部也進行了超潔凈處理，并符合RoHS環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)，是確保生產(chǎn)過程高效運轉(zhuǎn)的理想選擇。

  • 提供超低微小流量控制，滿足復(fù)雜工藝需求。
  • 可精準(zhǔn)控制低沸點和高粘度液體，保證產(chǎn)品質(zhì)量。
  • 抗壓性1MPa，適用于多種工作環(huán)境。
  • 超潔凈設(shè)計，降低制程污染。

典型應(yīng)用場景

LF-F和LV-F流量計廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光纖生產(chǎn)、生物制藥等領(lǐng)域。在300nm晶圓制程中，精確的流量控制能夠確保產(chǎn)品性能，同時減少浪費。通過自動供液系統(tǒng)的應(yīng)用，這些流量計能夠持續(xù)提供高效、可靠的液體傳輸，極大地提高了生產(chǎn)效率。

優(yōu)勢亮點總結(jié)

日本HORIBA堀場數(shù)字式液體質(zhì)量流量計LF/LV憑借其超潔凈設(shè)計和高抗壓性，成為半導(dǎo)體行業(yè)不可或缺的流量控制設(shè)備。它們的精確性和可靠性有效減少了手動操作的需要，并降低了制程污染的風(fēng)險。同時，上海進佳科學(xué)儀器有限公司作為HORIBA的授權(quán)代理，確保提供高品質(zhì)的產(chǎn)品和專業(yè)的技術(shù)支持。

公司介紹及聯(lián)系信息

上海進佳科學(xué)儀器有限公司位于上海浦東新區(qū)，長期專注于為電子半導(dǎo)體、光纖、生物制藥等高科技行業(yè)提供流量控制與過程連接解決方案。公司與美國KING、Dwyer、degreeC、日本HORIBA、YAMATO、韓國TKF、SUPERLOK等國際知名品牌保持長期合作關(guān)系，其中Dwyer已代理20年、HORIBA已代理15年。公司配備專業(yè)工程師團隊，提供選型咨詢、方案推薦、定制化配件、試用樣機申請，并支持遠程調(diào)試、電話指導(dǎo)或現(xiàn)場技術(shù)服務(wù)。所有產(chǎn)品出廠前經(jīng)過檢測，提供質(zhì)保、退換貨與維修。公司在價格穩(wěn)定、供貨周期可控、技術(shù)支持完善、售后服務(wù)及時以及二十多年行業(yè)積累等方面具有優(yōu)勢。

如需采購或咨詢?nèi)毡綡ORIBA堀場數(shù)字式液體質(zhì)量流量計LF/LV，請聯(lián)系上海進佳科學(xué)儀器有限公司，我們將為您提供專業(yè)的解決方案。